COSMO-UNIVAC
EFEM System
- 200/300mm 웨이퍼 이송시스템(2~5Wide)
- Yaskawa ATM Robot 적용(신뢰성 확보)
- 간편한 Maintenance & Leveling
- 오토 티칭 & AWC & Self-dignosis 기능
- 고객 요구에 응하는 커스터마이징 대응
- SEMI Standard
- Yaskawa ATM Robot 적용(신뢰성 확보)
- 간편한 Maintenance & Leveling
- 오토 티칭 & AWC & Self-dignosis 기능
- 고객 요구에 응하는 커스터마이징 대응
- SEMI Standard
(주) 볼타오토메이션
경기도 화성시 동탄대로 677-18
우편번호 18468
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Tel : 82-31-375-9670 / Fax : 82-31-375-9675
E-mail : admin@voltaautomation.co.kr
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